Sư là người ở Cao Yếu, Đoan Châu nay là Khánh Triệu, tỉnh Quảng Đông,họ Trần. Mẹ sư lúc có thai, không thích ăn mặn. Sư lúc còn đỏ hỏn, tính tình an nhiên, lại cũng chẳng làm khổ phiền bà vú nuôi.

Khi lớn lên, tính tình sư thường trầm mặc, cương nghị quả quyết, tự giữ mình thanh cao. Thổ dân tại Hương Động nhân khiếp sợ quỷ thần nên lập miếu thờ dâm thần, thường giết trâu bò cúng tế. Sư đến nơi cúng, đạp đổ bàn thờ, đoạt bò về cho dân. Phá bỏ những hành động mê tín dị đoan làm ảnh hưởng đến cuộc sống của dân lành.

Về sau, sư đến Tào Khê tham Thiền, được Lục Tổ Huệ Năng thu làm đệ tử, nhưng chưa thọ giới cụ túc thì Lục Tổ đã viên tịch. Tuân theo di mệnh của Lục Tổ, sư đến núi Thanh Nguyên ở Lư Lăng nương tựa Thiền sư Hành Tư.

Một hôm, Thiền sư Hành Tư hỏi sư: Có người nói Lĩnh Nam là đất lành, nơi phát dương của Thiền, có đúng không? Sư nói: Có người không nói như thế. Hành Tư nói: Như quả không nói như thế, thì người tu Thiền các nơi từ đâu mà lại? Sư nói: Như quả đã ngộ tự tâm, thì kẻ nghiên cứu rốt ráo cũng không thiếu chi. Thiền sư Hành Tư nghe xong rất là đồng ý với kiến giải của sư.

Sau khi đắc pháp, sư rời núi Thanh Nguyên đến Nam Nhạc. Vào năm đầu niên hiệu Thiên Bảo Đường Huyền Tông (741), nhân nhận lời người tiến cử đến trụ trì tại Nam Tự ở Hành Sơn. Tại phía Đông của Nam Tự có một phiến đá to, bằng phẳng như cái đài, sư bèn kết am nơi phiến đá đó mà ở. Người đời nhân đó phần đông gọi sư là Thạch Đầu Hòa thượng.

Sư có trước tác bài tụng Tham Đồng Khế, chứa đựng lời lẽ chỉ ý sâu thẳm vi diệu, khá được nhiều người chú giải, truyền rộng trong đời. Về sau tác phâm này trở thành giáo lý quan trọng của Tông Tào Động và là nền tảng của Động Sơn Ngũ Vị.

Trong cuộc đời hoằng pháp của sư, có nhiều sự tích kỳ lạ. Như từng có quỷ thần đến nghe pháp, xin quy y thọ Ngũ Giới, sư đều khuyên họ làm thiện tránh ác nghiệp.

Năm thứ hai niên hiệu Quảng Đức (764), có môn nhân thỉnh sư xuống núi đến Lương Đoan (nay là Trường Sa,Hồ Nam) khai Thiền truyền pháp, ảnh hưởng khá rộng. Lúc đó vùng Giang Tây lấy Đại Tịch (Mã Tổ) làm chủ, Hồ Nam lấy Thạch Đầu làm chủ. Kẻ tham Thiền học đạo các nơi tới lui đông dầy, đều qui phụ dưới cửa hai vị đại sĩ này.

Năm thứ sáu niên hiệu Trinh Nguyên (790), ngày 25 tháng 12 Canh Ngọ, sư viên tịch, hưởng thọ 91 tuổi, hạ lạp 63 năm. Môn nhân xây tháp ở Đông Lĩnh. Vào khoảng niêu hiệu Trường Khánh (821 -824), vua ban hiệu là Vô Tế Đại Sư, tháp tên là Kiến Tướng.